【不知不觉，我们EUV的光刻机搞定了！虽然可能还只是处于实验室阶段，但距离实际应用不算太远了！美国对中国的芯片封锁，已经失败了！】2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼到长春光机所调研，对其研制成功极紫外光刻机重要部件一一EUV光源工程化样机表示高度肯定。在光机所 ...展开
